銅合金蝕刻工藝要求

(1)銅合金蝕刻工藝過(guò)程:預(yù)處理*防蝕層制作一裝掛一蝕刻*流動(dòng)水洗*光化處理 — 自動(dòng)水洗、檢查、防蝕層一干燥、下掛*檢查*包裝。

(2)主要工序要求如下所述。

①預(yù)處理:按銅及合金預(yù)處理工藝規(guī)范(見(jiàn)2.3.3節(jié))進(jìn)行。

②防蝕層制作:刻劃法按刻劃法工藝規(guī)范(見(jiàn)3.3.7節(jié))進(jìn)行;感光法按感光法工藝規(guī)范 (見(jiàn)3.4.5節(jié))進(jìn)行;絲印法按絲印工藝規(guī)范(見(jiàn)3.5.4節(jié))進(jìn)行;激光光刻法按激光光刻工藝 規(guī)范(見(jiàn)4.2.5節(jié))進(jìn)行。

③裝掛:根據(jù)蝕刻方法的不同選擇合適的裝掛方式。裝掛時(shí)應(yīng)牢固，保證工件不相互貼 合、碰撞。裝掛位置適當(dāng)，盡量避免在化學(xué)處理時(shí)產(chǎn)生氣囊，保證蝕刻的均勻性。如是采用傳 輸式蝕刻設(shè)備進(jìn)行蝕刻則不需要裝掛，但要采用合適的工裝，防止在噴射時(shí)使工件移位而影響蝕刻的進(jìn)行。

④蝕刻:純銅堿性蝕刻按表4一16進(jìn)行，銅及銅合金酸性蝕刻按表4一17進(jìn)行。 對(duì)于垂直蝕刻的工件要定時(shí)將上下位置對(duì)換，在蝕刻過(guò)程中要注意檢查蝕刻深度的變化， 在蝕刻到深度的80%左右時(shí)應(yīng)取出工件測(cè)量深度，然后再確定余下的蝕刻時(shí)間。對(duì)于深度不 ，高的臺(tái)階及圖文蝕刻可根據(jù)預(yù)先工藝試驗(yàn)確定的時(shí)間進(jìn)行。

       對(duì)于垂直蝕刻的工件要定時(shí)將上下位置對(duì)換，在蝕刻過(guò)程中要注意檢查蝕刻深度的變化， 在蝕刻到深度的80%左右時(shí)應(yīng)取出工件測(cè)量深度，然后再確定余下的蝕刻時(shí)間。對(duì)于深度不 ，高的臺(tái)階及圖文蝕刻可根據(jù)預(yù)先工藝試驗(yàn)確定的時(shí)間進(jìn)行。

⑤光化處理按表4一18進(jìn)行。

⑥檢查:這一步主要是檢查蝕刻深度、蝕刻表面的效果是否符合工藝要求并同時(shí)檢查防 蝕層有無(wú)異常。

⑦退除防蝕層:絲印、感光或激光光刻法制作的防蝕層可采用有機(jī)溶劑及5%氫氧化鈉溶 液進(jìn)行清理;刻劃法制作的防蝕層可直接剝除，對(duì)于厚度不大的工件在剝除過(guò)程中應(yīng)注意防止工件變形。

⑧干燥:在60℃一80℃的干燥箱(室)內(nèi)干燥。

⑨卸掛:卸掛時(shí)應(yīng)戴干凈的細(xì)紗手套，在以后各工序，操作人員都應(yīng)戴干凈的細(xì)紗手套。 ①檢查:按金屬化學(xué)蝕刻驗(yàn)收技術(shù)條件(見(jiàn)4.2.5節(jié))執(zhí)行。

(3)溶液配制與調(diào)整如下所述。 

   ①溶液的配制方法:略。②溶液成分的分析項(xiàng)目及分析周期見(jiàn)表4-19.

（4）輔助材料應(yīng)符合下表規(guī)定

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